发明人: 菊山裕久, 脇雅秀, 伊藤周德, 久次米孝信, 二井启一, 长谷部类, 鹤丸一志, 中嶌秀纪,申请人: 斯泰拉化工公司, , 国际专利分类:H01L > 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件本发明所涉及的 微细加工处理剂，是用于含有钨膜以及硅氧化膜的层叠膜的 微细加工的 微细加工处理剂，其特征在于，含有氟化氢和硝酸和至少氟化铵以及氯化铵中的任意一种。由此，可以提供能对钨膜以及硅氧化膜的层叠膜，通过控制蚀刻速度进行 微细加工处理的微细加……
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作者: 李红英, 云乃彰, 汪建春, 江苏农林职业技术学院 句容 212400, 朱永伟, 为完善超声电解同步复合微器件 微细加工试验系统，设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构，提出了相应的微位移检测和进给控制方案，进行了一系列基础工艺试验，展示了该技术在提高 微细加工精度、加工效率、表面质量等方面的优势，研究成果具有重要……
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作者: 韩福柱, 陈丽, 周晓光, 在传统晶体管脉冲电源的基础上,研制开发了一种适用于 微细加工的晶体管脉冲电源,这种脉冲电源可以满足 微细加工中粗加工、精加工的不同需要,可实现最小脉宽为50ns的放电电流.通过微细孔加工实验,对所开发的晶体管脉冲电源的加工特性与传统的RC脉冲电……
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作者: 芮延年, 张志伟, 刘开强, 任芸丹, 中图分类:TN305.97 > 洁净技术本文通过对芯片及 微细加工工艺对环境问题要求的研究,探讨了获取超净环境的方法、构建了超净环境动力模型,并对超净环境设计中关键问题进行了较为深入的探讨,为芯片生产及 微细加工超净环境设计提供了理论基础。
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作者: 方应星, 朱煜, 中图分类:TP391.73 > 计算机辅助技术制造(CAM)双光子 微细加工技术是一项新型的三维 微细加工技术.提出以STL格式作为典型CAD软件和双光子加工数据处理软件的中介格式,并以Visual C++ 6.0开发了基于MFC的该软件,由STL文件读入及显示、STL文件正确性检验、分层、轮廓线优化、……
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作者: 赵万生, 王振龙, 中图分类:TG580.6 > 磨削加工工艺本文系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势.比较分析了常用 微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用,论述了线电极电火花磨削技术的原理及在 微细加工中的作用,介绍了微细电火花加工技术在微三维结构制作中的应用.作为一种实用的微细……
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作者: 吴校生, 陈文元, 赵小林, 张卫平, 何淼, 中图分类:TN389 > 其他器件介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的 微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等 微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案……
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作者: 喻永康, 微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术,受到越来越多的关注.文章主要介绍几种 微细加工技术的研究现状.
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作者: 李效白, 万方期刊分类:TB > 一般工业技术
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