微磨料水射流加工技术的射流直径在10 μm～100 μm之间,较常规磨料水射流直径(500 μm～1200 μm)小一个数量级,在微加工领域仍保持常规磨料水射流的许多的性能,尤其适宜对硬脆材料、复合材料等难加工材料进行微加工.目前其孔加工精度已达到相当于激光微加工技术的水平.为加深对该新技术的最新发展的理解,本文介绍了微磨料水射流加工技术射流生成方式、装置设计的关键技术、主要参数对加工性能的影响及部分应用示例.最后提出了微磨料水射流加工技术中有待深入研究的工作.

关键词: 微磨料水射流, 射流生成方式, 射流装置, | 全部关键词